Introducción:

El Modelo 470 es un sensor de ozono disuelto de última generación, diseñado para herramientas de baño húmedo de semiconductores y muchos otros procesos industriales. Proporciona una medición continua del ozono disuelto en agua desionizada o baños de ácido sulfúrico, con concentraciones de hasta 150 mg/L. El Modelo 470 está listo para salas limpias en procesos de semiconductores de alta pureza y está diseñado para instalarse fácilmente en línea en el circuito de recirculación de cualquier herramienta de baño húmedo con caudales de hasta 150 SLPM.

El sensor Modelo 470 incorpora una innovadora tecnología de detección de muestras con doble trayectoria óptica que ofrece un rendimiento incomparable y prácticamente elimina la necesidad de una medición de líquido de referencia.

Una instalación típica consta simplemente del sensor 470 y un cable de interconexión con cubierta de Teflon 7. El sensor 470 puede comunicar de forma remota la concentración medida, mediante señales analógicas o digitales, a la consola del sistema de baño húmedo.

Aplicaciones:

• Ozono disuelto en fase líquida
• Sistemas de baño húmedo para semiconductores
• Sistemas de agua ultrapura
• Industria farmacéutica
• Aplicaciones de tratamiento de agua
• Otros procesos industriales

Características:

• Monitorización in situ
• En línea, capacidad de caudal completo
• Trayectoria de flujo recta
• Sin piezas móviles
• Sin consumibles
• Rangos de hasta 150 mg/L
• Calibración remota de cero
• Método de absorción UV de alta precisión
• Técnica de detección de muestras con doble trayectoria óptica 
• No requiere mantenimiento periódico
• Materiales en contacto con el fluido de grado semiconductor
• Carcasa compacta de Teflon
• Cable de interconexión con cubierta de Teflon 7

Descargas:

Manual del producto 470

Ficha técnica 470

Nota de aplicación del baño húmedo 470

Fundamentos de ESD