CAT-O3-F

CAT-O3-F

La serie CAT-O3 de destructores de ozono descompone de forma segura altas concentraciones de gas ozono hasta niveles inferiores a ppm, por debajo de los límites de seguridad recomendados para el ozono. El método catalítico de descomposición utiliza un catalizador de óxido metálico para convertir pasivamente el ozono en oxígeno.

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CAT-O3-F

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Descripción / CAT-O3-F

La serie CAT-O3 de destructores de ozono descompone de forma segura altas concentraciones de gas ozono hasta niveles inferiores a ppm, por debajo de los límites de seguridad recomendados para el ozono. El método catalítico de descomposición utiliza un catalizador de óxido metálico para convertir pasivamente el ozono en oxígeno.

Los destructores de ozono de la serie CAT-O3 están fabricados con una carcasa de acero inoxidable soldada y protegida con un escudo térmico. Están cuidadosamente diseñados para cumplir los estrictos requisitos de rendimiento en materia de seguridad de la industria.​​

 

Características

  • Construcción totalmente soldada
  • Autónomo
  • Tiempo de reacción rápido
  • Sin consumibles
  • Sin mantenimiento
  • Instalación sencilla

 

Aplicaciones

  • Semiconductores
  • CVD TEOS/Ozone
  • ALD
  • MOCVD
  • Decapadores de cenizas
  • Bancos húmedos
  • Herramientas de pulverización

 

Descargas

Ficha técnica

Manual de la serie CAT-O3

Fundamentos de ESD

 

Más información

Fabricante Oxidation Technologies
Caudal máximo nominal 32 SLPM at 340 g/Nm3
Dimensiones (LxAnxAl) 27.50”L x 5.13”H x 4”Diameter
(698.5 x 130.3 x 101.6 mm)
Garantía 1 Year
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