CAT-O3-E

CAT-O3-E

La serie CAT-O3 de destructores de ozono descompone de forma segura altas concentraciones de gas ozono hasta niveles inferiores a ppm, por debajo de los límites de seguridad de ozono recomendados. El método catalítico de descomposición utiliza un catalizador de óxido metálico para convertir pasivamente el ozono en oxígeno.

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CAT-O3-E

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Descripción / CAT-O3-E

La serie CAT-O3 de destructores de ozono descompone de forma segura altas concentraciones de gas ozono hasta niveles inferiores a ppm, por debajo de los límites de seguridad de ozono recomendados. El método catalítico de descomposición utiliza un catalizador de óxido metálico para convertir pasivamente el ozono en oxígeno.

Los destructores de ozono de la serie CAT-O3 están fabricados con una carcasa de acero inoxidable soldada y protegida con un escudo térmico. Están cuidadosamente diseñados para cumplir con los estrictos requisitos de rendimiento y seguridad de la industria.​​

 

Características

  • Construcción totalmente soldada
  • Unidad autónoma
  • Tiempo de reacción rápido
  • Sin consumibles
  • Sin mantenimiento
  • Instalación sencilla

 

Aplicaciones

  • Semiconductores
  • CVD TEOS/Ozone
  • ALD
  • MOCVD
  • Equipos de descamado
  • Bancos húmedos
  • Herramientas de pulverización

 

Descargas

Ficha técnica

Manual de la serie CAT-O3

Fundamentos de ESD

 

Más información

Fabricante Oxidation Technologies
Caudal máximo nominal Up to 20 SLPM at 340 g/Nm3
Dimensiones (LxAnxAl) 19”L x 5.13”H x 4”Diameter
(482.6 x 130.3 x 101.6 mm)
Garantía 1 Year
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