CAT-O3-E
CAT-O3-E
La serie CAT-O3 de destructores de ozono descompone de forma segura altas concentraciones de gas ozono hasta niveles inferiores a ppm, por debajo de los límites de seguridad de ozono recomendados. El método catalítico de descomposición utiliza un catalizador de óxido metálico para convertir pasivamente el ozono en oxígeno.
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- CAT-O3-E
Descripción / CAT-O3-E
La serie CAT-O3 de destructores de ozono descompone de forma segura altas concentraciones de gas ozono hasta niveles inferiores a ppm, por debajo de los límites de seguridad de ozono recomendados. El método catalítico de descomposición utiliza un catalizador de óxido metálico para convertir pasivamente el ozono en oxígeno.
Los destructores de ozono de la serie CAT-O3 están fabricados con una carcasa de acero inoxidable soldada y protegida con un escudo térmico. Están cuidadosamente diseñados para cumplir con los estrictos requisitos de rendimiento y seguridad de la industria.
Características
- Construcción totalmente soldada
- Unidad autónoma
- Tiempo de reacción rápido
- Sin consumibles
- Sin mantenimiento
- Instalación sencilla
Aplicaciones
- Semiconductores
- CVD TEOS/Ozone
- ALD
- MOCVD
- Equipos de descamado
- Bancos húmedos
- Herramientas de pulverización
Descargas
Más información
| Fabricante | Oxidation Technologies |
|---|---|
| Caudal máximo nominal | Up to 20 SLPM at 340 g/Nm3 |
| Dimensiones (LxAnxAl) | 19”L x 5.13”H x 4”Diameter (482.6 x 130.3 x 101.6 mm) |
| Garantía | 1 Year |